案例：Parylene是在專用的真空氣相沉積設備中，通過升華（120℃/1.33Mpa）→裂解（650℃/1.33Mpa）→氣化（120℃/1.33Mpa）→沉淀涂層（25℃/1.33Mpa）→ 這幾個步驟來完成對工件表面的涂膜。
1，在真空狀態下和120度的條件下將固態原料升華成氣態。

2，在650度將氣態原料裂解成具有反應特性的活性單體。

3，活性單體在室溫條件下沉積并聚合。